同步带传动机械手的建模与振动控制研究

doi:10.16578/j.issn.1004.2539.2006.06.019

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同步带传动机械手的建模与振动控制研究

更新时间：2025-04-03

- 同步带传动机械手的建模与振动控制研究
- Issue 6, Pages: 58-60+98(2006)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.16578/j.issn.1004.2539.2006.06.019
  CLC： TP241
- Published：2006
- 稿件说明：
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[1]熊根良,胡泓,张春慨.同步带传动机械手的建模与振动控制研究[J].机械传动,2006(06):58-60+98.

[J]. 2006, (6): 58-60+98.
[1]熊根良,胡泓,张春慨.同步带传动机械手的建模与振动控制研究[J].机械传动,2006(06):58-60+98. DOI： 10.16578/j.issn.1004.2539.2006.06.019.

[J]. 2006, (6): 58-60+98. DOI： 10.16578/j.issn.1004.2539.2006.06.019.

摘要

为了实现硅片在测试过程中的自动传输

设计了一种同步带传动的机械手。由于同步带的柔性

在运动的过程中不可避免的带来振动。为了得到平稳的运动

建立了同步带传动机械手的数学模型

从机械设计和控制算法两方面来抑制机械手的振动

并通过计算机仿真进行了验证。

Abstract

In order to accomplish automatically transmission of the wafer during test

a manipulator with synchronous belt transmission is designed. Because of the flexibility of the synchronous belt

the vibration is inevitable during movement. In order to get the smooth motion

the mathematical model of the manipulator with synchronous belt transmission is built

and utilize the mechanical design and control algorithm to restrain the vibration

the vibration is examined based on the computer simulations.

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