微型齿轮研制中微细加工技术的应用研究

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微型齿轮研制中微细加工技术的应用研究

更新时间：2025-04-03

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- 微型齿轮研制中微细加工技术的应用研究
- Issue 4, Pages: 38-39+49(1998)
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.16578/j.issn.1004.2539.1998.04.013
  CLC： TG61
- Published：1998
- 稿件说明：
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[1]任泰安,秦东晨,祁建中.微型齿轮研制中微细加工技术的应用研究[J].机械传动,1998(04):38-39+49.

[J]. 1998, (4): 38-39+49.
[1]任泰安,秦东晨,祁建中.微型齿轮研制中微细加工技术的应用研究[J].机械传动,1998(04):38-39+49. DOI： 10.16578/j.issn.1004.2539.1998.04.013.

[J]. 1998, (4): 38-39+49. DOI： 10.16578/j.issn.1004.2539.1998.04.013.

摘要

本文研究了在紫外光光刻条件下用微细加工方法研制微型齿轮的加工工艺

对加工过程进行了分析

加工水平已达到准LIGA水平

Abstract

本文研究了在紫外光光刻条件下用微细加工方法研制微型齿轮的加工工艺

对加工过程进行了分析

加工水平已达到准LIGA水平

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